外媒：Axcelis多批高電流離子注入機(jī)發(fā)貨 客戶為亞洲半導(dǎo)體制造商

集微網(wǎng)消息，據(jù)外媒evertiq報(bào)道，Axcelis Technologies宣布發(fā)貨多批Purion Dragon高電流離子注入機(jī)（high current implanter），其中包括后續(xù)訂單（follow-on orders），以及對(duì)先進(jìn)存儲(chǔ)設(shè)備制造新客戶的滲透。

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Purion Dragon具有高電流離子注入機(jī)架構(gòu)，具有正交光束光學(xué)器件，旨在解決高級(jí)存儲(chǔ)器和邏輯應(yīng)用的關(guān)鍵注入工序。這些設(shè)備于2022年第一季度和第二季度發(fā)貨。除了這些客戶位于亞洲之外，該公司沒有提供有關(guān)這些客戶的任何詳細(xì)信息。（校對(duì)/思坦）

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