外媒：Axcelis多批高電流離子注入機發(fā)貨 客戶為亞洲半導體制造商

集微網消息，據(jù)外媒evertiq報道，Axcelis Technologies宣布發(fā)貨多批Purion Dragon高電流離子注入機（high current implanter），其中包括后續(xù)訂單（follow-on orders），以及對先進存儲設備制造新客戶的滲透。

圖源：網絡

Purion Dragon具有高電流離子注入機架構，具有正交光束光學器件，旨在解決高級存儲器和邏輯應用的關鍵注入工序。這些設備于2022年第一季度和第二季度發(fā)貨。除了這些客戶位于亞洲之外，該公司沒有提供有關這些客戶的任何詳細信息。（校對/思坦）

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